Développement de briques technologiques pour la fabrication d’un VCSEL avec un modulateur intégré verticalement

Ludovic Marigo-Lombart (1) , Alexandre Arnoult (2) , Laurent Mazenq (2) , Pascal Dubreuil (2) , Jean-Baptiste Doucet (2) , Bernard Rousset (2) , Nicolas Mauran (3) , Hugo Thienpont (4) , Krassimir Panajotov (5) , Guilhem Almuneau (1)

1 LAAS-PHOTO - Équipe Photonique
2 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
3 LAAS-I2C - Service Instrumentation Conception Caractérisation
4 TONA - Department of Applied Physics and Photonics [Brussels]
5 VUB - Vrije Universiteit Brussel

Domaines: Optique / photonique; Matériaux

Ludovic Marigo-Lombart, Alexandre Arnoult, Laurent Mazenq, Pascal Dubreuil, Jean-Baptiste Doucet, et al.. Développement de briques technologiques pour la fabrication d’un VCSEL avec un modulateur intégré verticalement. 15eme Journees Nano, Micro et Optoelectronique (JNMO), May 2016, Les Issambres, France. 2016. ⟨hal-01857638⟩