RÉALISATION DE MURS P + TRAVERSANTS POUR DES FONCTIONS DE PUISSANCE INTÉGRÉES

Éric Imbernon (1) , Emmanuel Scheid , Françoise Rossel (1) , Marie Breil , H Carrière , Pascal Dubreuil (1) , Bernard Rousset (1) , Patrick Austin , Jean Louis Sanchez

1 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

Les murs traversants P + peuvent être considérés comme des régions clés dans les architectures 3D pour de nouvelles fonctions de puissances intégrées bidirectionnelles en tension et en courant. Dans la première partie, nous démontrons la faisabilité de la fabrication de ces murs P + qui combinent la réalisation de tranchées profondes dans le silicium par gravure ionique réactive et le remplissage de celles-ci par du polysilicium fortement dopé bore.

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Éric Imbernon, Emmanuel Scheid, Françoise Rossel, Marie Breil, H Carrière, et al.. RÉALISATION DE MURS P + TRAVERSANTS POUR DES FONCTIONS DE PUISSANCE INTÉGRÉES. Seminario Annual de Automatica, Electronica Industrial e Instrumentacion. Electronique de Puissance du Futur (SAAEI-EPF'04), Sep 2004, Toulouse, France. 4p. ⟨hal-01867595⟩