Synthesis of nanopowders in a PECVD reactor from organosilicon precursor - Université Toulouse III - Paul Sabatier - Toulouse INP Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Phosphorus, Sulfur, and Silicon and the Related Elements Année : 2019

Synthesis of nanopowders in a PECVD reactor from organosilicon precursor

Y. Fermi
  • Fonction : Auteur
M. Kihel
  • Fonction : Auteur
S. Sahli
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02322357 , version 1 (21-10-2019)

Identifiants

Citer

Y. Fermi, M. Kihel, S. Sahli, Patrice Raynaud. Synthesis of nanopowders in a PECVD reactor from organosilicon precursor. Phosphorus, Sulfur, and Silicon and the Related Elements, 2019, 194 (10), pp.978-982. ⟨10.1080/10426507.2019.1631311⟩. ⟨hal-02322357⟩
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