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Journal articles
Microlens self-writing on vertical laser diodes by Near Infra-Red photo-polymerization
David Barat
1
Véronique Bardinal
1
I. Dika
2
O. Soppera
2
Anna Rumyantseva
3
Benjamin Reig
4
Mickaël Renaud
3
Aurélien Bruyant
3
Jean Baptiste Doucet
5
Thierry Camps
6
J.P. Malval
2
Emmanuelle Daran
5
1
LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
3
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
ICD - Institut Charles Delaunay
5
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
6
LAAS-N2IS - Équipe Nano Ingénierie et Intégration des Systèmes
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
David Barat 1
Author
Véronique Bardinal 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : veronique-bardinal ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9242-4457
I. Dika 2
Author
O. Soppera 2
Author
Anna Rumyantseva 3
Author
Benjamin Reig 4
Author IdHAL : benjamin-reig
Mickaël Renaud 3
Author
Aurélien Bruyant 3
Author
1
LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
2
IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse (15 rue Jean Starcky BP 2488 68057 MULHOUSE CEDEX 2 - France)
- Matériaux et nanosciences d'Alsace (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique (France)
- INSERM - Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (101, rue de Tolbiac, 75013 Paris - France)
- Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France)
- UNISTRA - Université de Strasbourg : FR3627 (4 rue Blaise Pascal - CS 90032 - 67081 Strasbourg cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7361 (France)
- Réseau nanophotonique et optique (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique (France)
- UNISTRA - Université de Strasbourg : FR3678 (4 rue Blaise Pascal - CS 90032 - 67081 Strasbourg cedex - France)
- Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France)
- Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France)
3
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique (12 rue Marie Curie - BP 2060 10010 TROYES CEDEX - France)
- ICD - Institut Charles Delaunay (12, rue Marie Curie BP 2060 - 10010 Troyes Cedex - France)
- UTT - Université de Technologie de Troyes (12 rue Marie Curie CS 42060 10004 TROYES CEDEX - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6281 (France)
4
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
5
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
6
LAAS-N2IS - Équipe Nano Ingénierie et Intégration des Systèmes (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
Abstract : We report on the improvement of a fabrication method for micro-optics integration on vertical semiconductor laser diodes (VCSELs). Our approach is based on microlens self-writing by the laser beam itself thanks to self-guided Near-Infra-Red photo-polymerization. Fabrication conditions have been optimized to control and take benefit of process sensitivity to oxygen quenching and to make possible the study of photo-chemical parameters influence on final tip geometry. The interest of this simple method for fabricating focused-beam VCSELs is finally discussed.
Document type :
Journal articles
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https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02383256
Contributor : Daniel Gavrysiak <>
Submitted on : Wednesday, November 27, 2019 - 4:15:40 PM
Last modification on : Friday, January 10, 2020 - 9:10:15 PM
Contributor : Daniel Gavrysiak <>
Submitted on : Wednesday, November 27, 2019 - 4:15:40 PM
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Identifiers
- HAL Id : hal-02383256, version 1
- DOI : 10.1016/j.mee.2013.03.155
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Citation
David Barat, Véronique Bardinal, I. Dika, O. Soppera, Anna Rumyantseva, et al.. Microlens self-writing on vertical laser diodes by Near Infra-Red photo-polymerization. Microelectronic Engineering, Elsevier, 2013, 111, pp.204-209. ⟨10.1016/j.mee.2013.03.155⟩. ⟨hal-02383256⟩
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