Comparative study of zirconium and titanium oxide thin films obtained from metalorganic precursors by LP-MW plasma process - Université Toulouse III - Paul Sabatier - Toulouse INP Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Comparative study of zirconium and titanium oxide thin films obtained from metalorganic precursors by LP-MW plasma process

Patrice Raynaud
Matériaux et Procédés Plasmas

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Plasmas Matériaux Génie des procédés

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Soumis le : mercredi 4 décembre 2019-12:02:42

Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:22

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Dates et versions

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Identifiants

  • HAL Id : hal-02393228 , version 1

Citer

Patrice Raynaud. Comparative study of zirconium and titanium oxide thin films obtained from metalorganic precursors by LP-MW plasma process. 16th international conference on plasma Surface engineering - PSE, Sep 2018, Garmisch Partenkirchen, Germany. ⟨hal-02393228⟩

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