DC microplasma arrays on silicon wafers

Remi Dussart (1) , Ronan Michaud (1) , Sylvain Iseni (1) , Olivier Aubry (1) , Arnaud Stolz (1) , Sebastian Dzikowski (2) , Volker Schulz-von Der Gathen (2) , Lawrence J Overzet (3) , Leanne Pitchford (4)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 RUB - Ruhr University Bochum = Ruhr-Universität Bochum
3 UT Dallas - University of Texas at Dallas [Richardson]
4 LAPLACE - LAboratoire PLasma et Conversion d'Energie

Domaines: Physique des plasmas [physics.plasm-ph]; Plasmas; Milieux fluides et réactifs; Optique / photonique; Ingénierie biomédicale

Remi Dussart, Ronan Michaud, Sylvain Iseni, Olivier Aubry, Arnaud Stolz, et al.. DC microplasma arrays on silicon wafers. 45th European Physical Society Conference on Plasma Physics, Jul 2018, Pragu, Czech Republic, Unknown Region. ⟨hal-02286104⟩